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ATR8600緊湊型共聚焦顯微拉曼光譜儀,破局高端科研拉曼三大痛點!

點擊次數:197次  更新時間:2026-08-19
ATR8600緊湊型共聚焦顯微拉曼光譜儀,破局高端科研拉曼三大痛點!


 

隨著半導體、新能源、新材料等產業加速發展,材料微區結構、成分分布與界面特性的精細表征需求不斷提升,拉曼檢測正從單點分析走向微區成像與大范圍掃描。


廣大科研工作者與工業客戶在采購和使用傳統科研級拉曼光譜儀時,常常面臨三大行業痛點:

 


 

占地面積大,空間成本高: 傳統設備體積龐大,往往需要占用獨立的實驗室空間,不僅移動極不方便,也限制了多元化的放置與使用場景。


對焦慢、耗時長: 傳統視覺對焦速度慢,針對表面高低不平的樣品,無法進行實時的焦點跟蹤與精準成像。


智能化不足,效率瓶頸: 缺乏智能化算法支持,大數據量下的譜圖處理與 Mapping 拼接慢,分析效率低下。

緊湊,多激光,智能化

 


 

ATR8600 以“緊湊·多激光·智能化”為核心定位,在同等甚至更優的科研級性能下,實現了體積更小、配置更靈活、性價比更高的突破。它不僅為實驗室節省了空間資源,更通過超快速對焦與 AI 算法大幅縮短了實驗與檢測周期。

 


 

1

極致緊湊設計,節省 70% 實驗室空間

0.2 m² 占地面積:采用一體化結構與無裸露光纖設計,相比傳統拉曼設備節省 70% 以上的空間,輕松適配各類空間緊張的實驗室與產線環境

2

超快速自動對焦與景深融合

< 2s極速對焦:結合顯微同軸與光學對焦技術,實現低于2秒的超快速自動對焦

實時焦點跟蹤與景深融合:針對高低不平的復雜樣品,高倍物鏡下也能實現實時焦點跟蹤與景深融合,確保整幅圖像全清晰成像、高信號與高分辨率兼得

3

大范圍單機3波長同時在線,軟件一鍵切換

免停機、免重對光:支持 266nm、325nm、405nm、532nm、638nm、785nm 及1064 nm 等多種激發波長可選,單機最多支持3路波長同時在線。通過軟件直接控制切換光路,告別更換激光器時復雜的停機調光流程

4

真針孔共聚焦與高空間分辨率

精細微區表征:采用電控 6/12 級真針孔共聚焦光路與大面積旋轉光柵,實現橫向空間分辨率<1μm、縱向空間分辨率<2μm,能夠精準鎖定微米級的缺陷與微區結構

5

AI 人工智能加持,數據處理效率翻倍

大范圍自動 Mapping:支持100*100mm大尺寸樣品自動框選、高精度圖像配準與自動拼接成像

AI 譜圖自動分析:內置 AI 降噪與算法分析,使大范圍成像更平滑、光譜匹配更精準,整體數據處理效率提升約 50%

 


 

關鍵實測應用場景

 


 

晶圓應力分布檢測:

晶圓殘余應力無法直觀量化,退火/CMP工藝參數調整缺乏可靠依據,導致良率波動與可靠性風險。拉曼峰偏移與殘余應力建立定量關系,應力分布可直觀可視化,為工藝優化提供數據支撐。

應用:通過拉曼峰位偏移量化硅晶圓殘余應力,指導退火與CMP工藝優化,提升芯片良率與長期可靠性。

方案:殘余應力定量 Mapping → 優化退火與CMP 參數 → 提升芯片良率與長期可靠性。

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▲芯片應力分布Mapping 拉曼峰偏移一應力定量;不同芯片應力分布可視化

 


 

二維材料層數與結構表征:

二維材料層數、結構分布難以快速準確判定,傳統手段分辨率不足,定位困難,影響器件研發效率。E2g / A1g 模式分析可準確判定二維材料層數與結構分布,實現精準定位。

應用:拉曼頻移與二維材料層數存在定量關系,實現層數、結構分布可視化,精準定位

方案:層數 - 頻移定量標定 → 快速判定結構分布 → 縮短材料篩選與器件研發周期。

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鋰離子電池負極材料分析:

電池充放電過程中石墨負極結構損傷難以原位、可視化監測。ID/IG比值與結構損傷相關,拉曼成像清晰顯示充放電前后石墨結構變化。

應用:通過拉曼 D/G 帶比值變化,評估石墨負極在充放電過程中的結構劣化。

方案:拉曼成像追蹤 ID/IG → 評估負極劣化 → 優化電池循環壽命與安全性。

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▲實測譜圖


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薄膜結構與界面分析:

SiGe / SiO2 / Si3N4 等薄膜的相變、應力與界面質量缺乏非破壞性、高分辨分析手段。拉曼光譜可在不破壞樣品的前提下,高分辨表征薄膜相變、應力與界面質量。

應用:對 SiGe / SiO2 / Si3N4 等薄膜進行相變、應力與界面質量分析,助力先進制程研發。

方案:相變/應力/界面同步表征 → 反饋薄膜沉積與刻蝕工藝 → 加速先進制程研發

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微塑料檢測:

環境與水樣中微塑料種類多、尺寸小,人工篩查效率低,統計口徑不統一,難以形成有效監測數據。多倍物鏡白光與拉曼圖結合,可快速識別微塑料種類并完成統計。

應用:拉曼可識別各種類型的微塑料,并做好數據統計,助力環境、水體檢測。

方案:拉曼光譜指紋識別 → 自動分類統計 → 提升環境 / 水體監測效率與數據一致性。

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生物醫學與制藥:

生物與藥物樣品成分復雜,傳統檢測往往有損、耗時,且難以獲取空間分布信息。拉曼可快速識別藥物主要成分,并通過Mapping揭示藥物內部成分分布差異。

應用:藥物分布拉曼光譜用于藥品質量控制、藥物鑒定,以及藥片表面與切面中有效成分分布表征。

方案:無損成分鑒定 + 空間分布表征 → 輔助臨床診斷、優化制劑工藝、提升藥品質量一致性。

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▲實測譜圖

 



 

細菌快速檢測:

傳統細菌鑒定依賴培養與生化反應,周期長、操作復雜,難以實現快速無損識別。拉曼光譜可提供細菌“分子指紋”,不同細菌的特征拉曼譜圖,峰位存在差異。

應用:利用拉曼光譜快速獲取細菌樣品的特征光譜指紋,輔助菌種鑒定與生物醫學研究。

方案:拉曼光譜指紋快速識別 → 縮短細菌鑒定周期 → 支撐臨床檢驗、食品安全與病原微生物監測。

ATR8600緊湊型共聚焦顯微拉曼光譜儀,破局高端科研拉曼三大痛點!

▲實測譜圖



司法鑒定與文檢:

司法鑒定要求證據完整、結果客觀,傳統方法易破壞樣品或依賴主觀經驗。拉曼光譜指紋具有化學特異性,可無損識別墨水、油墨與紙張成分,提供客觀鑒定依據。

應用:拉曼光譜用于筆跡時序、油墨成分、紙幣真偽及古籍紙張油墨的無損鑒定。

方案:非接觸式光譜取證 → 保留證據效力 → 支持筆跡、紙幣、古籍等司法鑒定與文檢工作。

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▲實測譜圖


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公共安全

公共安全場景要求現場快速識別,毒品種類多、爆炸物危害大、微量物證易損失。特征拉曼光譜指紋結合 SERS 增強,可實現高靈敏度、高特異性識別與痕量檢測。

應用:拉曼 / SERS技術用于毒品、微量物證、爆炸物及中間體的快速、痕量、無損篩查。

方案:現場快速光譜篩查 → 覆蓋毒品 / 爆炸物 / 微量物證 → 提升禁毒、反恐與刑偵效率

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▲實測譜圖


 


 

小體積,更高效,更智能

 


 

ATR8600緊湊型共聚焦顯微拉曼光譜成像儀打破了傳統高端拉曼設備“體積大、對焦慢、門檻高”的枷鎖。它以小巧穩定的身軀、強悍的科研級性能、極致的自動智能化體驗,為半導體、新材料、生命科學等領域的科研攻關與工業質檢注入了強勁動力!


歡迎廣大科研工作者與工業客戶聯系我們,預約樣品實測與試用體驗!

 

 

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